Винтовой вакуумный насос Roots для производства полупроводников

Винтовой вакуумный насос Roots сочетает в себе преимущества насосов Roots и винтовых насосов, предлагая чистое, эффективное и безмасляное вакуумное решение для требовательных промышленных и лабораторных применений. Благодаря конструкции с зазорным уплотнением и отсутствию смазочного масла эти насосы сохраняют высокую чистоту и исключительную производительность на протяжении всего срока эксплуатации.

Принцип работы винтового вакуумного насоса Roots

• Винтовой вакуумный насос (предварительная ступень):Функционирует как насос предварительной ступени, обеспечивая высокую скорость откачки и низкое давление выхлопа. Механическое сжатие с помощью точных винтовых зазоров обеспечивает эффективную, малошумную и маловибрационную работу.
• Вакуумный насос Roots (основной/промежуточный):Синхронно вращающиеся двойные роторы перекачивают отработанный газ из всасывающей камеры в выпускную. Зазорное уплотнение предотвращает загрязнение маслом, поддерживая чистую вакуумную среду.
• Серийная работа:Оба насоса работают последовательно: винтовой насос повышает уровень вакуума, а насос Рутса обеспечивает стабильную и непрерывную эффективность откачки.

Преимущества производительности

1. Энергосбережение:Оптимизированное соотношение скорости откачки и степени вакуума снижает потребление энергии, превосходя по энергоэффективности традиционные вакуумные системы.
2. Высокая эффективность:Достигает эффективности откачки более 90%, обеспечивая высокий уровень вакуума при низком энергопотреблении для различных процессов.
3. Защита безопасности:Усовершенствованная система управления с функциями автоматического запуска/остановки, защитой от перегрузки, перегрузки по току и отключением подачи воды обеспечивает долгосрочную стабильность.
4. Компактная конструкция:Вертикальная штабелировка или лестничная конструкция минимизируют занимаемую площадь, что идеально подходит для заводов и лабораторий с ограниченным пространством.
5. Гибкая конфигурация:Регулируемое соотношение скоростей насосов (от 1:2 до 1:8) для адаптации к различным рабочим требованиям.
6. Антикоррозионные свойства:Поверхности перелива обработаны или изготовлены из коррозионно-стойких материалов, подходящих для извлечения коррозионных газов и эксплуатации в жестких условиях.

Области применения

• Химическая промышленность:Извлечение летучих органических растворителей, газов и использование в вакуумных реакторах — широко используется в химических и фармацевтических процессах.
• Производство полупроводников:Поддерживает процессы вакуумного осаждения, очистки и травления.
• Пищевая промышленность:Необходимо для упаковки пищевых продуктов, дегидратации и вакуумной сушки.
• Металлургическая промышленность:Извлекает газ в металлургических печах и лабораториях для стабилизации процессов плавления.
• Лабораторные и научные исследования:Идеально подходит для вакуумных экспериментов и рекуперации газа в научных условиях.
• Электронная промышленность:Используется в производстве интегральных схем, вакуумном покрытии экранов и других процессах производства электроники.